1、设备工艺流程:

上料→去损伤→预清洗→纯水水洗→单晶制绒→单晶制绒→纯水清洗→单晶制绒→后清洗→纯水清洗→HF+HLC清洗→HF+HLC清洗→纯水清洗→预脱水→烘干→烘干→烘干→烘干→下料

2、设备特点：

1.产能：600片/批  12000片/H；

2.工艺槽循环量可调；

3.洁净干燥区域，自洁净干燥系统；

4.制绒金字塔均匀，刻蚀深度可调；

5.支持最薄120um硅片；

6.无需臭氧；

7.快速换液，自动补液，在线加热；

8.支持MES、RFID以及选配在线称重功能；

3、设备参数

1.硅片尺寸：18X/210/230可选；

2.破片率 :

基于M10硅片尺寸碎片率：≤0.01%，基于M12硅片尺寸碎片率≤0.015%

3.设备Uptime：≥98%

4.可实现绒面大小在1-5um间连续可调；

5.腐蚀深度均匀性：同一槽内各硅片之间腐蚀深度极差≤0.2μm